Bylos fonas: „Tūkstančio{0}}skylių problema“ lustų gamyboje

Puslaidininkių lustų apdorojimo srityje kvarcinis stiklas plačiai naudojamas gaminant purškiamus diskus ėsdinimo procese dėl didelio grynumo, atsparumo aukštai temperatūrai ir cheminio stabilumo. Pirmaujančio lustų įrangos gamintojo kvarco purškimo diskų apdorojimo reikalavimai yra labai tipiški:
Medžiaga: Kvarcinis stiklas (kietumas HV700)
Pagrindinės savybės: 0,5 mm skersmens, 5 mm gylio mikro- skylės (gylio- ir -skersmens santykis 10:1), 4 996 skyles reikia tolygiai apdoroti 280 mm skersmens diske
Tikslumo reikalavimai: Skylės apvalumas Mažesnis arba lygus ±5 μm, padėties paklaida<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Gamintojas iš pradžių naudojo tradicinę gręžimo technologiją, tačiau susidūrė su dviem mirtinomis problemomis:
Efektyvumo kliūtis: vienos skylės apdorojimas trunka 270 sekundžių, o vieno disko apdorojimas reikalauja nuolatinio veikimo 34 dienas;
Nekontroliuojamas derlius: Skylės briauna įgriuva siekia 0,4 mm, todėl daugiau nei 30 % ruošinių įtrūksta ir nutrūksta dėl įtempių koncentracijos.
BISHEN sprendimai: Ultragarso technologija griauna tradicinius amatus
Atsižvelgdama į trapias ir kietas kvarcinio stiklo savybes, BISHEN tyrimų ir plėtros komanda pasiūlė ultragarsinę tikslią graviravimo ir frezavimo sistemą, kuri peržengė tris technines naujoves:
① Aukšto{0}}dažnio ultragarso virpesių mažinimo technologija
20 kHz ultragarsinė vibracija iki mikrosekundžių sutrumpina grąžto ir medžiagos sąlyčio laiką, 65 % sumažina pjovimo jėgą ir slopina krašto griuvimą nuo šaknies.
② Integruotas PCD grąžto pritaikymas
Grąžtas pagamintas iš deimantinio kompozitinio lakšto (PCD), kurio pjovimo briaunos lanko tikslumas yra ±2 μm, ir 0,01 laipsnio ašinės korekcijos sistema, užtikrinanti 5 mm gylio skylių tiesumą.
③ Vakuuminės adsorbcijos padėties nustatymo įrankiai
Oru plūduriuojanti platforma su nepriklausomu kelių sričių valdymu stabilizuoja 280 mm kvarcinio disko lygumo paklaidą 0,005 mm ribose, pašalindama gręžimo padėties nukrypimą.
Duomenų apdorojimo palyginimas: dvigubas efektyvumo ir tikslumo šuolis

Tris mėnesius iš eilės masinės gamybos klientai tikrino sprendimą, o purškimo plokštės išeiga padidėjo nuo 67% iki 98%, todėl gamintojai kasmet sutaupo daugiau nei 8 milijonus juanių kvarco medžiagų nuostolių.

Pramonės įkvėpimas: tikslaus apdirbimo techninis posūkis
Kvarcinio stiklo mikro{0}}skylių apdorojimas kažkada buvo „butelio kaklelis“, ribojantis lustų įrangos atnaujinimą. Taikant ultragarso technologiją, BISHEN ne tik išsprendė mikro-skylių apdorojimo problemą, kai gylio-ir-skersmens santykis yra 10:1, bet ir patvirtino naują trapių ir kietų medžiagų preciziško apdirbimo paradigmą - pakeičiant paprastą vibracijos padidėjimą, kurio kietumas yra 8}. universali vertė itin tiksliam apdirbimui tokiose pramonės šakose kaip keramika ir optinis stiklas.
Apie Bishen Precision
BishenPrecision pagrindinis dėmesys skiriamas{0}}labai tikslių metalinių dalių gamybai. Remdamasi 7 500 kvadratinių metrų modernia gamybos baze, jis siūlo sudėtingų konstrukcinių dalių sprendimus kosmoso, medicinos įrangos ir robotikos srityse. Bendrovė laiko „ypatingą tikslumą ir patikimą pristatymą“ kaip savo pagrindinį konkurencingumą ir turi galimybę teikti visas proceso paslaugas nuo medžiagų modifikavimo, kelių-ašių jungčių apdorojimo iki mikronų{8} lygio bandymų. Ji turi ISO 13485 medicinos prietaisų kokybės valdymo sistemą, AS9100 aviacijos ir kosmoso sertifikatą ir iš viso pristatė daugiau nei 200 000 pagrindinių dalių, padedančių klientams peržengti tikslios gamybos ribas.







