Atvejo analizė: Proveržis apdorojant kvarcinio stiklo pagrindą
Apdorojamas objektas: kvarcinio stiklo substratas fotolitografijai
Specifikacijos:
Medžiaga: 99,99 % didelio-grynumo kvarcinis stiklas
Apdorojimo ypatybės: dvipusis -C0,2 nuožulas + vertikali šoninė sienelė
Paviršiaus reikalavimai: Ra < 150 nm (veidrodžio laipsnis)
Matmenys: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Pramonės perdirbimo skausmo taškų analizė
Kaip pagrindinės puslaidininkių gamybos įrangos eksploatacinės medžiagos, kvarcinės dalys, skirtos fotolitografijai, turi atitikti tris griežtus standartus tuo pačiu metu: medžiagos pralaidumas > 99,6%, matmenų tolerancija ±10 μm ir šoninės sienelės šiurkštumas Ra < 150 nm. Tradicinis apdorojimo metodas naudoja šlifavimo diskų šlifavimo procesą, kuris turi dvi pagrindines pramonės problemas:
Efektyvumo kliūtis: vieno{0}}gabalo apdorojimas trunka iki 120 minučių
Paviršiaus defektai: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Įrankio praradimas: įprastas įrankio tarnavimo laikas yra mažesnis nei 50 vienetų
BIŠENASsprendimų technologijų naujovės
Atsižvelgiant į kietas ir trapias kvarcinių medžiagų savybes, kompozitasapdorojimo sprendimasyra priimtas:
• 20kHz ultragarsinė precizinė graviravimo ir frezavimo sistema
• Integruotas PCD mikro{0}ašmenų frezavimo pjoviklis (kraštas R0,05 mm)
• Ašinio sluoksninio pjovimo procesas (2 μm vienam sluoksniui)
Išmatuotų apdorojimo pranašumų palyginimas
Atliekant proceso patikrinimą ir palyginimą, pagrindiniai rodikliai buvo žymiai patobulinti:
Pramonės taikymo vertė
Šis sprendimas sėkmingai išsprendė „butelio kaklelio“ apdorojimo problemą litografijos mašinų dalių lokalizavimo procese, padidindamas kvarco substrato gamybos pajėgumus nuo 10 vienetų per dieną iki 50 vienetų, o apdirbimo kvalifikacinį rodiklį nuo 63% iki 98,5%. Pagal Zeiss lazerinio interferometro aptikimą, apdorojimo paviršiaus tikslumo PV vertė yra<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
ApieBIŠENAS
Bishen Precisionspecializuojasi tiksliosios įrangos dalių apdirbime, su 7500 kvadratinių metrų standartizuotų dirbtuvių, o jos paslaugos apima kosmoso, medicinos įrangos, pramoninių robotų ir kitas sritis. Galimybė apdoroti sudėtingas konstrukcines dalis ir ISO sistemos sertifikavimas suteikia klientams visus -procesų sprendimus nuo projektavimo ir kūrimo iki masinės gamybos.
