Puslaidininkių įrangos gamybos srityje „Polysilicon“ vartų žiedai yra pagrindiniai lustų gamybos proceso komponentai. Skatinant pagrindinių komponentų lokalizaciją, buitinės puslaidininkių įrangos gamintojas susidūrė su sunkia apdorojimo problema - reikėjo baigti vidinį kontūrų šlifavimą ir griovelių apdorojimą ant polisilicono žiedų, kurių skersmuo buvo 290 mm, o 45 mm storio, o tradiciniai procesai buvo sunkūs patenkinti masės gamybos poreikius.
Procesavimo fono ir pramonės skausmo taškai
A. Apdorojimas fonas
Dėl puikių puslaidininkių savybių „Polysilicon“ plačiai naudojamas vartų konstrukcinėse įrangos dalyse, tokiose kaip jonų implantai ir ėsdintojai. Tokie komponentai turi pašalinti daugiau nei 7 0% medžiagos per kelis šlifavimo procesus, tuo pačiu užtikrinant, kad vidinis kontūro apvalumas būtų mažesnis arba lygus 0. 005 mm, o griovelio pločio tolerancija yra ± 0,01 mm, o tai nustato griežtus apdorojimo įrangos stabilumą ir įrankio tarnavimo laiką.
B. Tradicinio perdirbimo dilema
1. Tradicinės šlifavimo mašinos turi mažai apdorojimo efektyvumo, o vienas gabalas užtrunka daugiau nei 8 valandas
2.
3. Vidinio apskritimo apvalumo nuokrypis yra> 0. 015 mm, o tai daro įtaką įrangos plazmos pasiskirstymo vienodumui
Bishen Solutions: Ultragarsinės technologijos + greitaeigių patefonų bendradarbiavimo operacija
Atsižvelgiant į „Polysilicon Hard and Trapth“ medžiagų apdorojimo charakteristikas, „Bishen“ techninė komanda pritaikė trijų viename sprendimą:
1. Ultragarsinis tikslumo graviravimas ir frezavimo sistema: 20 kHz aukšto dažnio vibracija sumažina pjovimo atsparumą 50%
2. DDR vertikalus greitasis patefonas: 3000 aps / min ± 1 ″ tikslumas, pasiekiant nano lygio trajektorijos valdymą
3. Gradiento kompozicinis įrankis tirpalas:
Deimantui padengti įrankiai naudojami greitam medžiagai pašalinti grubiai apdorojant
Ultragarsiniai PCD įrankiai keičiami tiksliam apdorojimui
Išmatuoti duomenys atnaujina pramonės etaloną
Patikrinant klientų gamybos liniją, pasiektas „Bishen“ sprendimas:
Apdorojimo efektyvumas padidėjo 2,8 karto, o vieno gabalo apdorojimo laikas buvo suspaustas iki 2,8 valandos
Lizdo skaldymo greitis buvo sumažintas nuo 35 % iki 0. 5 % ar mažiau
Vidinis apskritimo apvalumas yra stabiliai valdomas ties 0. 003-0. 005mm
Paviršiaus šiurkštumas yra mažesnis arba lygus 0. 4 μm, o tai yra geriau nei importuotos įrangos apdorojimo lygis
Šis proveržis padidino klientų „Polysilicon“ vartų žiedų masinės gamybos kvalifikacijos procentą nuo 61% iki 98,7%, sėkmingai pakeisdama importuotų dalių.
ApieBishen
Bishenasdaugiau nei dešimt metų buvo giliai įtrauktas į tikslumo gamybos sritį, daugiausia dėmesio skirdama „kaklo užstrigusioms“ apdorojimo problemoms, susijusioms su puslaidininkio, fotoelektros ir kitomis pramonės šakomis. Bendrovės 7500 kvadratinių metrų išmaniosios gamyklos yra aprūpinti pagrindiniais technologijos moduliais, tokiais kaip ultragarsinis pagalbinis apdorojimas ir penkių ašių jungtys. Jis pateikė pagrindinių dalių apdorojimo sprendimus daugiau nei 20 vidaus puslaidininkių įrangos gamintojų. Atitinkamos technologijos praėjo ISO9001 ir puslaidininkių įrangos specialų sertifikavimą ir toliau padeda aukščiausios klasės gamybos įrangos nepriklausomybės procesui.
