Puslaidininkinės įrangos gamybos pasaulyje,paviršiaus kokybė yra ne tik estetika,{0}}tai funkcija, ilgaamžiškumas ir tikslumas. Tokie komponentai kaip plokštelių griebtuvai, objektyvo laikikliai ir tikslūs kreiptuvai turi atitikti ne tik matmenų leistinus nuokrypius, bet irekstremalūs paviršiaus apdailos reikalavimai, dažnai žemiauRa 0,1 μm.
Kodėl nanometro{0}}lygio paviršiaus apdaila svarbi
Didelio{0}}našumo puslaidininkinė įranga labai priklauso nuo kontaktų tikslumo ir suderinamumo su švariomis patalpomis. Paviršiaus šiurkštumas, viršijantis nanometrų slenksčius, gali:
Trukdytiplokštelių įdėjimo tikslumas
Padidintitrintis ir nusidėvėjimasjudėjimo metu
Priežastisoptinio signalo sklaida, turinčios įtakos fotolitografijai
Sukurtidalelių gaudyklės, didinant užteršimo riziką
Pavyzdžiui, avaflių scenos atraminis žiedaskai paviršiaus šiurkštumas viršija specifikaciją, gali sukelti mikro{0}}vibracijas, dėl kurių sumažėja padėties nustatymo tikslumas ir sumažėja derlius.
CNC apdirbimo iššūkis
Pasiekus Ra Mažiau nei 0,1 μm arba lygų paviršiaus apdailą, gerokai viršija standartinius CNC procesus. Tradiciniai įrankiai ir parametrai dažnai palieka mikro-įbrėžimus, apdirbimo žymes ar liekamąjį įtempimą-, kurie yra nepriimtini puslaidininkių aplinkoje.
Mūsų požiūris į nanometro{0}}lygio kokybę
AtBISHEN Tikslumas, sukūrėme apdirbimo darbo eigą, skirtą specialiai paviršiui{0}}jautrioms programoms:
Naudojimasultra-smulkaus grūdėtumo karbido įrankiaisu pasirinktomis geometrijomis
Poliravimo leidimaiintegruoti į galutinius įrankių takus
Aušinimo skysčio valdymo sistemoskad išvengtumėte karščio{0}}sukeltų mikro-plyšimų
Derinimas suCMM ir baltos{0}}šviesos interferometraišiurkštumui patvirtinti
Kiekvienai daliai atliekama kelių{0}}pakopų patikra ne tik dėl leistinų matmenų, bet ir dėlsub-mikronų paviršiaus konsistencijavisose kontaktinėse plokštumose.
Tikras dėklas: veidrodinės{0}}užbaigtos plokštelės atraminės plokštės
Klientas reikalavo aliuminio plokštelių, kurių paviršiaus apdaila būtų geresnė neiRa 0,05 μm, vienodas visoje šviesoje. Naudodami optimizuotus didelės-greitos apdailos būdus ir pritaikytas poliravimo strategijas, pristatėme komponentus, viršijančius specifikacijas, paruoštus EUV-lygio švarios patalpos surinkimui.
Neleiskite paviršiaus apdailai pakenkti jūsų sistemai
Paviršiaus netobulumas nanoskalėje gali tyliai pakenkti jūsų tiksliausiems mechanizmams. Jei jūsų paraiška reikalaujaoptinės{0}}klasės apdaila, arbaaukščiausios trinties charakteristikos, pasikalbėk su mumis. Mes padėsime užtikrinti, kad jūsų dalys atitiktų abitolerancijairtekstūra.
