Puslaidininkių pramonėje,mikronų{0}}lygio tikslumasnėra prabanga,{0}}tai bazinė padėtis. Naudojami komponentaiplokštelių tvarkymo sistemos, ėsdinimo kameros, irfotolitografijos įrankiaireikalautimatmenų tolerancijosdažnai mažesnis nei 5 mikronai. Tradiciniai CNC apdirbimo metodai sunkiai patenkina tokius reikalavimus be specializuotos proceso kontrolės ir metrologijos.
Iššūkis: kai svarbūs mikronai
Skirtingai nuo įprastų pramoninių dalių, puslaidininkiniai komponentai turi:
Prižiūrėtiekstremalus plokštumas ir lygiagretumas
Turitikslus skylių išlyginimas ir žingsnis
Užtikrintiminimalūs paviršiaus defektaikurie gali turėti įtakos vakuumui arba optiniam veikimui
Net menkiausias nukrypimas gali sukelti:
Neatitikimas plokštelių perkėlimo metu
Fotokaukės projekcijos tikslumo praradimas
Derliaus praradimas dėl užteršimo arba geometrinio poslinkio
Realus-pasaulio pavyzdys: litografijos įrankių rėmeliai
Viename projekte, kuriame dalyvavo alengvas aliuminio lydinio rėmasfotolitografijos sistemai,mažesnis nei 5 μm nuokrypisbuvo reikalaujama ant tvirtinimo paviršių siekiant užtikrintipuikus perdangos išlygiavimaslustų raštų.
Norėdami tai pasiekti, mes taikėme:
5 ašių CNC apdirbimas su terminiu kompensavimu
Maža-vibracija, didelio{1}}greičio suklio valdymas
Matmenų tikrinimas-realiuoju laiku ir grįžtamojo ryšio kilpos
Be tokio tikslumo tik 10 μm poslinkis gali iškraipyti kaukės išlygiavimą ir sumažinti lustų išeigą,{1}}todėl klientui kainuotų daug prastovų ir medžiagų nuostoliai.
Mūsų procesas adresuBISHEN Tikslumas
Mes aptarnaujame puslaidininkių OEM su:
Itin tikslus-CNC frezavimas ir tekinimas (±2–5 μm pakartojamumas)
Ra Mažesnis arba lygus 0,2 μm paviršiaus apdailakritinėms sandarinimo arba optinėms zonoms
„Cleanroom“-suderinama pakuotė
CMM ir lazerinio skenavimo patikrinimas su atsekamomis ataskaitomis
Mūsų komanda suprantakiekvieno mikrono kritiškumas-ir remia ją patirtimi teikiant tiek MTTP, tiek didelės-mišrios-apimties gamybos aplinkas.
Kodėl tai svarbu
Puslaidininkių gamyboje geometrija yra viskas. Bet koks iškraipymas, nesutapimas ar įbrėžimas gali sukelti:
Rašto iškraipymas
Vaflių tvarkymo klaidos
Vakuuminės sistemos gedimas
Tikslus apdirbimas – tai ne tik griežti leistini nuokrypiai{0}}, bet ir užtikrintifunkcionalumas ir patikimumasnaujos kartos{0}}lustų gamybos įranga.
