Apdorojamo objekto analizė
Medžiaga: optinis kvarcinis stiklas
Apdorojimo ypatybės: kelių{0}}paviršiaus kontūrų šlifavimas (įskaitant 3 asimetrinius briaunus)
Raktų matmenys: 16 × 16 × 10 mm (klaida ± 0,002 mm)
Ši kvarcinė prizmė, kuri yra tik nago dydžio, yra pagrindinis šviesos{0}}kreipiamasis buitinės aukštos{1} klasės litografijos aparato optinės sistemos elementas. Jo 8 sudėtingi lenkti paviršiai turi pasiekti 99,6 % pralaidumą ir nanometro -lygio lūžio tikslumą, o paviršiaus šiurkštumas tiesiogiai veikia litografijos aparato ekspozicijos skiriamąją gebą.
Pramonės skausmo taškai ir techniniai sunkumai
Optinių technologijų įmonė, skatindama litografijos mašinų lokalizavimą, susidūrė su kvarco prizmių apdorojimo kliūtimi:
Tradiciniai šlifavimo defektai: Šiurkštumas po rankinio poliravimo vis dar pasiekia Sa 120 nm, todėl šviesos sklaidos nuostoliai yra 15 %
Įrangos priklausomybė nuo importo: vieno japoniško ultra-tikslaus šlifuoklio kaina viršija 20 mln. juanių, o pristatymo laikotarpis yra net 18 mėnesių
Derliaus krizė: tik 32 iš pirmos 500 bandomųjų produkcijų partijos atitiko standartus, todėl projekto eiga buvo labai lėta.
Dilema „negaliu sau leisti importuotos įrangos, o vidaus procesai nėra geri“ tiesiogiai blokavo nepriklausomos litografijos mašinos kūrimo procesą.
BIŠENASsprendimų sprendimas
Reaguodama į itin didelius optinių komponentų tikslumo reikalavimus, BISHEN techninė komanda sukūrė naujoviškus tyrimus ir plėtrą:
1. Ultragarsinė vertikalių penkių -ašių jungčių apdorojimo sistema
2. 0.1μm-lygio dinaminis kompensavimas, tikslus 18 ašių sujungimo staklių valdymas
3. Asimetrinio paviršiaus suderinimas CAD/CAM išmanusis programavimas
4. Aukšto -dažnio ultragarsinio šlifavimo technologija
5. 40kHz ultragarsinė vibracija sumažina pjovimo įtampą 52 % ir išvengia kvarco mikroįtrūkimų
6. Deimantinio mikro{1}}miltelių šlifavimo disko tarnavimo laikas pailgėja 3 kartus
Faktinis išmatuotas našumo šuolis
Tam tikro tipo buitinių litografijos mašinų prizmių masinėje gamyboje pasiekti trys pagrindiniai laimėjimai:
1. Paviršiaus kokybė: Šiurkštumas Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Apdorojimo efektyvumas: vienos dalies darbo valandos sutrumpinamos nuo 14 valandų iki 3,5 valandos
3. Išlaidų kontrolė: investicijos į įrangą sudaro tik 1/5 importuoto sprendimo
Pirmosios 3 000 produktų partijos išeiga šoktelėjo iki 98,7 %, o tai padėjo klientams užbaigti prototipų surinkimą 6 mėnesiais anksčiau nei numatyta.
apieBIŠENAS
BIŠENAS„Precision Technology“ (įkurta 2017 m.) skirta įveikti „butelio kaklelį“ aukštos klasės gamybos srityje. Ji pastatė 7 500 kvadratinių metrų skaitmeninę gamyklą Dongguane, kurioje įrengtos importuotos įrangos grupės, pvz., penkių -ašių jungčių apdirbimo centrai ir itin-tikslūs optiniai šlifuokliai. Taikant naujoviškas technologijas, tokias kaip ultragarsinis apdirbimas ir kriogeninis pjovimas puslaidininkinei įrangai, optoelektroniniams prietaisams ir kitose srityse, ji suteikė pagrindinius dalių apdorojimo sprendimus daugiau nei 20 vietinių litografijos mašinų pramonės tinklų įmonių ir pristatė daugiau nei 500 000 tikslių optinių komponentų.
