Vienas iš mūsų puslaidininkių klientų-ES-įsikūręs OĮG, besispecializuojantis EUV litografijoje-, kreipėsi į mus su iššūkiu: gaminti didelio-tankiomikrokanalinė aušinimo plokštėpagamintas iš 6061-T6 aliuminio. Reikalingas komponentas1200 mikro-skylių, kiekvienasØ 0,18 mm, su agylio{0}}ir-skersmens santykis 10:1, irpadėties tikslumas mažesnis nei ±5 μmper visą dalies paviršių.
Pagrindiniai iššūkiai apima:
Įrankio lūžimasdėl ekstremalių kraštinių santykio
Priežiūraskylės tiesumasdideliame gręžimo gylyje
Užtikrintilustų evakuacijanedeformuojant mikro{0}}angų
Užkirsti keliąterminis iškraipymasnuolatinio gręžimo metu
Norėdami tai išspręsti, mes panaudojome:
Specialūs mikro{0}}gręžimo įrankiaisu vidiniais aušinimo skysčio kanalais
Keli{0}}veiksmaigręžimo strategijossu laikymo ir įtraukimo valdymu
Ultragarsinis{0}}plovimasužtikrinti lustų pašalinimą
Vykdoma-terminis stabilizavimastarp ėjimų valdyti plėtrą
Po kelių iteracijų ir modeliavimų įgyvendinome a2 eigų gręžimo ir presavimo procesaskad pasiekta nuosekli skylių geometrija ir vidinis paviršius be įbrėžimų. Po-apdirbimo patikrinimas naudojant a500× skaitmeninis mikroskopasirCMM su zondo nuskaitymupatvirtino:
Visos skylės viduje±3 μmtolerancijos juosta
Paviršiaus šiurkštumas apačiojeRa 0,2 μm
Skylės-į-tarpo nuokrypis viduje±4 μmskersai 150 mm × 150 mm matricos
Komponentas išlaikė helio nuotėkio bandymus, šilumos perdavimo efektyvumo testus ir buvo priimtas į kliento bandomąją versiją be pertvarkymo.
